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xMo 순도 | 99.95% | 등급 | Mo1 /Mo2 |
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물질 등급 | Mo-1, Mo-2, TZM | 소재 | 몰리브덴 |
비등점 | 4,639°C | 구성 | Mo-±0.08% Zr, ±0.5% Ti, ±0.03% C |
길쭉함 | <21% | 직경 | 10~100mm |
강조하다 | 고온 몰리브덴 디스크,스프터링 타겟 몰리브덴 디스크,진공 코팅 몰리브덴 디스크 |
1,설명:
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재료: 몰리브덴 스프터링 타겟은 높은 녹는점, 우수한 열 및 전기 전도성 및 부식 저항성으로 알려진 불소연 금속인 몰리브덴으로 만들어집니다.몰리브덴은 스프터링 응용 프로그램에 널리 사용됩니다..
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형태 및 구조: 몰리브덴 스프터링 타겟은 일반적으로 디스크 모양 또는 직사각형 모양입니다. 평평하고 균일한 표면을 가지고 있으며 일관된 스프터링 성능을 보장합니다.표적은 단단하거나 더 많은 지원을 위해 뒷판에 붙여질 수 있습니다..
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고 순도: 몰리브덴 스프터링 타겟은 고 순도 차원에서 제공되며 얇은 필름의 품질에 영향을 줄 수있는 최소한의 불순물을 보장합니다.반도체 제조의 응용에 높은 순수성이 중요합니다., 광학 코팅, 얇은 필름 연구
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스프터링 성능: 몰리브덴 스프터링 타겟은 우수한 스프터링 성능을 보이며 고품질의 얇은 필름의 퇴적을 허용합니다. 그들은 좋은 스프터링 효율을 제공합니다.균일성 침식, 그리고 높은 퇴적율로 정확하고 일관된 필름 두께를 얻을 수 있습니다.
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열 및 전기 전도성: 몰리브덴 스프터링 타겟은 높은 열 및 전기 전도성을 가지고 있으며 스프터링 과정에서 효율적인 열 방출을 촉진합니다.이것은 목표물의 무결성을 유지하고 안정적인 스프터링 성능을 보장하는 데 도움이됩니다.
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경화 저항성: 몰리브덴 스프터링 타겟은 경화에 대한 좋은 저항성을 가지고 있으며, 다양한 스프터링 환경과 프로세스에서 사용하기 적합합니다.그들은 스프터링 중에 발견되는 반응 가스 및 플라스마 조건에 견딜 수 있습니다..
2사양:
물질적 재산 | 설명 |
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소재 | 몰리브덴 |
순수성 | 높은 순수도 |
형태 | 원반 모양 또는 직사각형 |
녹는점 | 2,623°C (4,753°F) |
밀도 | 10.2 - 10.3g/cm3 |
열전도성 | 138 - 142 W/m·K |
전기 전도성 | 25~30% IACS (국제 고열 구리 표준) |
부식 저항성 | 잘 진식 저항성 |